용인시가 세계 유수 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론(TEL) 한국법인 투자를 유치했다. 또 국내 굴지 반도체 검사장비업체 ㈜고영테크놀로지 본사가 서울에서 용인으로 이전한다.

용인 이동·남사읍 첨단 시스템반도체 국가산업단지, 원삼면 용인 반도체 클러스터 조성으로 용인이 반도체 중심도시로 자리매김하는 상황에서 이들 기업이 용인에 입주하는 셈이다.

7일 시에 따르면 도쿄일렉트론코리아는 지난달 27일 원삼일반산업단지에 입주하려고 산업시설용지 4블록 2만7천32㎡에 대해 업종 변경을 신청했다.

도쿄일렉트론코리아는 R&D센터를 건립하려고 이달 1월 이 토지를 매입했고, 신청한 산업단지계획을 변경하면 연구동과 팹(Fab)을 설치할 계획이다.

도쿄일렉트론은 미국 어플라이드머터리얼즈나 램리서치, 네덜란드 ASML과 함께 세계 유수 반도체 장비업체로 꼽는데, 지난해 기준 매출액 규모로 세계 4위, 특허 보유로는 세계 1위 회사다.

이 회사 국내 현지 법인인 도쿄일렉트론코리아는 화성시에 본사가 있고, 2022년 매출액 1조4천33억 원을 기록했다. 직원은 1천938명이다.

도쿄일렉트론코리아가 입주할 원삼일반산단 규모는 10만8천919㎡다. 인근에 용인 반도체 클러스터를 조성함에 따라 반도체 장비업체인 에스티아이와 반도체 소자 업체인 나녹스 들이 원삼일반산단에 입주했다.

㈜고영테크놀로지는 서울 본사와 지주회사를 수지구 상현동 1188 고영테크놀로지R&D센터로 통합·이전한다.

시는 관내 반도체기업 현황 파악 차원에서 2월 ㈜고영테크놀로지를 방문했고, 회사 측이 본사와 R&D센터를 통합할 의지가 있다고 하자 용인 입주에 필요한 사항을 자문해 통합계획을 확정하게끔 도왔다.

시는 필요한 행정절차를 원활하게 진행해 이 회사가 올 하반기 중 이주를 마치도록 지원할 계획이다.

㈜고영테크놀로지는 반도체 어드밴스드 패키징 검사장비 전문업체로 잘 알려졌다. 최근 의료용 로봇 부문에서도 괄목할 만한 성과를 내는 중이다.

한편, 반도체·디스플레이 장비업체 ㈜애플티는 처인구 모현읍 곡현로 538의 25 일대 2천632㎡ 터에 건축총면적 1천710㎡ 규모 신축 공장을 오는 8월 준공한다.

㈜애플티는 2023년 매출 193억 원을 올린 강소기업으로, 최근 포스텍 나노융합기술원에 반도체 핵심 장비인 포트레지스트 도포용 트랙(track) 장비를 설치·운영하기로 하는가 하면 기술력을 인정받는다.

용인 반도체 클러스터 협력단지에는 분양 대상 37개 필지 중 31개 필지에 원익IPS 들 29개 기업이 입주하겠다며 협약을 체결했다. 첨단 시스템반도체 국가산단 인근 용인테크노밸리에는 반도체 핵심 소재인 EUV 블랭크 마스크와 펠리클 부문 세계 기술을 보유한 에스앤에스텍이 7월께 새 공장을 준공할 예정이다.

용인=우승오 기자 bison88@kihoilbo.co.kr

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